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在典型氮化工藝中，常使用氫探頭測量，當通入爐內的氣氛全部為氨氣時，此方式可以真實準確的測量氨裂解后生成的氫含量，再通過氫含量計算氮勢。但由于近年來各種氮化工藝的發展，某些氮化技術，通入爐內的氣氛除氨氣之外，還通入了加快氣氛沖刷速度的氮氣或二氧化碳、甲醇、水等。如果僅使用傳統的氫探頭測量方式，所取得的氫含量值并非真實數據，而普通的氮控系統流量補償設備操作復雜，且多使用固定常數，無法實時跟蹤氣氛比例，不能達到實際工藝需要，甚至造成滲氮工藝的偏差。